李正中團隊成功自製測量器 薄膜科技如虎添翼

薄膜科技是一項能夠提升產品及產業價值的重要技術,為擺脫量測時長期依賴國外進口的昂貴儀器,中央大學理學院院長李正中團隊近來自行成功研發出「三合一」薄膜測量器。一台檢測儀,可同時檢測出薄膜厚度、折射率和表面輪廓三項數據,可大幅降低成本,節省作業時間,且不破壞樣品本身。成果已發表於2011年國際最頂尖之光學期刊《Optics Letter》,今年6月在台北國際光電展中,更受到國際矚目。

 所謂「工欲善其事,必先利其器。」中央大學薄膜技術中心和光電系在日新月異的薄膜新科技中搶得先機,率先研發出多功能的薄膜測量儀,憑的就是首屈一指的光學教育,根據光學原理,在學理上完成可垂直取得薄膜與基板表面之反射相位,並完成此量測的實驗儀器。

 理學院李正中院長表示,過去要測得表面輪廓、薄膜厚度及折射率,必須購買多台儀器,非但不經濟且耗費許多時間。該儀器在不需破壞樣品下,即可量測薄膜厚度與折射率,準確率與橢圓偏振儀相同,可達埃(Angstrom)數量級(奈米以下);同時具有抗震動的優點,可以運用於生產線上檢測。此儀器也可搭配不同的光學透鏡膜組,量測大面積的各式薄膜元件,於製程中或製程後得知薄膜是否均勻。另外,它突破傳統能垂直擷取相位,所以不像橢圓偏振儀須斜向取信號而占據較大的空間,而且此儀器取信號方便,因此量測快速,是一種嶄新的劃時代新產品!

 此儀器由李正中教授帶領包括吳鍇博士的研究團隊所研發成功,已發表於國際最頂尖之光學期刊《Optics Letter》,並已在台、美、日等地申請相關專利。其研究結果於去年在德國國際光學量測會議發表,隨後又接受邀在法國光學系統會議在大會做Keynote Speech發表,並於今年6月在台北國際光電展前瞻學術專區展出,引起數家國外知名量測設備製造廠商高度興趣,今年初受德國出版商Lambert Academic Publishing之邀將其相關原理與實驗著成專書,已發行於歐美等地。

 此多功能的檢測儀器除了解決了檢測上長期以來的不便性,可廣泛應用在半導體產業、平面顯示器產業、以及各類3C產品等各項產業製程上,成為一大利器!

文/薄膜技術中心